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課程名稱 |
薄膜材料科學
Thin Film Materials Science |
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開課學期 |
110-2 |
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授課對象 |
工學院 材料科學與工程學研究所 |
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授課教師 |
周苡嘉 |
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課號 |
MSE5065 |
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課程識別碼 |
527 U2090 |
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班次 |
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學分 |
3.0 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期三3,4,5(10:20~13:10) |
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上課地點 |
綜203 |
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備註 |
總人數上限：20人 |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
薄膜已被廣泛地應用在電子產業。由於電子元件的微縮，奈米尺度電子元件的製程技術與可靠度變得愈來愈重要。這門課會著重在介紹薄膜的製程與科學、薄膜材料的應用與可靠度、薄膜材料反應與一維奈米線的差異。 |
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課程目標 |
本課程包含以下主題:
1. 薄膜沉積
2. 薄膜材料表面能、擴散行為、應力的介紹
3. 薄膜的化學能與表面動態行為
4. 同質磊晶與異質磊晶
5. 交互擴散
6. 蕭機能障與歐姆接觸
7. 矽化物薄膜形成
8. 電遷移機制
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課程要求 |
1. Introduction to materials science (材料科學導論)
2. Thermodynamics of Materials (材料熱力學) |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
另約時間 備註： Email: ycchou@ntu.edu.tw |
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指定閱讀 |
Electronic Thin-Film Reliability, King-Ning Tu, Cambridge University
Press, 2010,
ISBN: 978-0-521- 51613-6. |
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參考書目 |
Kinetics in Nanoscale Materials, King-Ning Tu and Andriy M. Gusak, Wiley
Press, 201
ISBN:9780470881408
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評量方式
(僅供參考) |
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No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
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1. |
期中考試 |
40% |
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2. |
期末考試 |
40% |
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3. |
口頭報告 |
20% |
Case study presentation 15%
Homework 5%
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